SMC冷凍式溫控器HRZ002-W,循環液溫調裝置HRZ008-W1 HRZ008-W-Z循環液溫調裝置 冷凍式溫控器 氟化液型 溫度穩定性高、溫度調節范圍寬、具有故障診斷外部通信性能，多用于半導體工藝設備 適用于各種安全標準 符合UL, SEMI標準、CE規格 冷卻能力 008 8kW 設定溫度范圍 W -20～90℃ 可選項 Z 循環液自動回收功能